低溫等離子體工業廢氣處理設備和技術作為一種新型的氣態污染物處理技術是一家集物理、化學、生物學和環境科學于一體的交叉集成電子化學技術,因為它很容易分解污染物分子高效和低能耗,是一種有前途的國內外空氣污染控制和有效的技術方法。具有廣泛的應用和推廣前景，為工業領域VOC有機廢氣和惡臭氣體的治理開辟了新思路。

1. 脈沖高頻高壓等離子電源和雙介質齒板放電裝置主要用于產生終端放電形式的高濃度離子。等離子體是一種聚合材料，其高能電子可以在幾毫秒內穿透空氣并排出分子，發生一系列的分化和裂解反應，產生高濃度、高強度、高能量的運動自由。當堿和各種電子、離子等,碰撞的分子機器的廢氣,發生一系列的物理和化學反應,在反應的過程中會產生各種活性自由基和生態氧,原子氧產生的臭氧分解。

2. 活性自由基能有效破壞各種病毒和細菌的核酸和蛋白質，使其無法進行正常的代謝和生物合成，導致死亡;Eco能迅速在等離子體中包含大量的有機廢氣分子。高能電子、正離子和負離子、受激粒子和氧化后的自由基。這些活性粒子與一些廢氣分子發生碰撞，產生大量的OH、HO2、O等活性自由基和強氧化的O3，與有害氣體分子發生反應，產生無害的產物。